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传感器制造工艺分类

发布日期:2018-02-05 作者: 点击:

      传感器在近现代主要的制造工艺有四种,分别是集成传感器、薄膜传感器、厚膜传感器和陶瓷传感器。

  1、集成传感器

  集成传感器的消费工艺,和消费规范硅基半导体集成电路工艺是根本相同的。传感器经过集成方式停止制造后,能够取得更小的体积并集成更多的功用,局部集成传感器能够具有一局部处置功用,来处置被丈量信号。

  2、薄膜传感器

  薄膜传感器的制造触及了纳米等先进技术,薄膜传感器的制造办法是在介质衬底也就是基板上,用敏感资料构成一层薄膜。薄膜传感器在制造时也能够复合一些电路系统,这需求运用到混合工艺。

  3、厚膜传感器

  厚膜传感器和薄膜传感器相对应,也是在基片上构成膜来停止制造,区别是厚膜传感器是在陶瓷制造的基片上,用敏感资料的浆料停止涂覆。厚膜传感器的制造资料多是氧化铝,涂层构成后停止热处置,这样厚膜即可成型。

  4、陶瓷传感器

  陶瓷传感器即新工艺的应用也是传统资料的应用,陶瓷传感器所运用的陶瓷资料是精密陶瓷也被称为高科技陶瓷,陶瓷传感器的制造主要是依托规范的陶瓷工艺或变种的溶胶工艺,完成恰当的准备性操作之后,将成形的元件在高温中停止烧结。

  传感器的制造工艺中厚膜传感器和陶瓷传感器的消费工艺有很多相通之处,因而也能够将厚膜传感器制造工艺了解为陶瓷传感器制造工艺的一种变形。传感器的各种制造工艺之间并没有明白的优劣之分,各个制造工艺都有本人的优点和缺乏,但目前厚膜和陶瓷技术应用的更为普遍。


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关键词:S型传感器

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